中國科學(xué)院微電子研究所（簡稱“微電子所”）的前身——原中國科學(xué)院109廠成立于1958年。1986年，109廠與中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、計算技術(shù)研究所有關(guān)研制大規(guī)模集成電路部分合并為中國科學(xué)院微電子中心。2003年9月，正式更名為中國科學(xué)院微電子研究所。
微電子所的戰(zhàn)略定位是：中國微電子技術(shù)創(chuàng)新的引領(lǐng)者和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的推動者。
微電子所是國內(nèi)微電子領(lǐng)域?qū)W科方向布局最完整的綜合研究與開發(fā)機(jī)構(gòu)，是國家科技重大專項集成電路裝備及工藝前瞻性研發(fā)牽頭組織單位，是中國科學(xué)院大學(xué)微電子學(xué)院（國家示范性微電子學(xué)院）的依托單位，是中國科學(xué)院集成電路創(chuàng)新研究院的籌建依托單位�，F(xiàn)擁有2個基礎(chǔ)研究類中國科學(xué)院重點(diǎn)實驗室（微電子器件與集成技術(shù)重點(diǎn)實驗室、硅器件技術(shù)重點(diǎn)實驗室），4個行業(yè)服務(wù)類研發(fā)中心（EDA中心、集成電路先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心、系統(tǒng)封裝與集成研發(fā)中心、光刻總體部），5個行業(yè)應(yīng)用類研發(fā)中心（通信與信息工程研發(fā)中心、新能源汽車電子研發(fā)中心、健康電子研發(fā)中心、智能感知研發(fā)中心、智能制造電子研發(fā)中心），4個核心產(chǎn)品類研發(fā)中心（硅器件與集成研發(fā)中心、高頻高壓器件與集成研發(fā)中心、微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心、光電研發(fā)中心）。
微電子所共有在職職工1千余人。其中科技人員746人、科技支撐人員281人，包括中國科學(xué)院院士2人、發(fā)展中國家科學(xué)院院士1人、國際歐亞科學(xué)院院士1人、研究員及正高級工程技術(shù)人員135人、副研究員及高級工程技術(shù)人員319人。
微電子所是國務(wù)院學(xué)位委員會批準(zhǔn)的博士學(xué)位（1996年5月獲批）、碩士學(xué)位（1990年11月獲批）授予權(quán)單位之一，現(xiàn)設(shè)有電子科學(xué)與技術(shù)、光學(xué)工程兩個一級學(xué)科，其中電子科學(xué)與技術(shù)下設(shè)“微電子學(xué)與固體電子學(xué)”（2011年獲批中國科學(xué)院重點(diǎn)學(xué)科）、“電路與系統(tǒng)”兩個二級學(xué)科；設(shè)有碩士、博士研究生培養(yǎng)點(diǎn)和“電子科學(xué)與技術(shù)”一級學(xué)科博士后流動站，擁有“集成電路工程”、“電子與通信工程”“光學(xué)工程”三個工程碩士培養(yǎng)點(diǎn)。截至2019年底，共有在學(xué)研究生1071名，其中微電子所619名（博士生302人、碩士生317人），微電子學(xué)院452名，此外在站博士后28人。
微電子所是集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟秘書處、集成電路測試儀器與裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟秘書處、示范性微電子學(xué)院產(chǎn)學(xué)融合發(fā)展聯(lián)盟秘書處、全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會微光刻分技術(shù)委員會秘書處、全國納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會微納加工技術(shù)工作組秘書處、北京電子學(xué)會半導(dǎo)體專業(yè)技術(shù)委員會制版（光掩模制造）分技術(shù)委員會秘書處、全域科研院所科技成果轉(zhuǎn)化聯(lián)盟秘書處掛靠單位。
微電子所堅持開放辦所理念，堅持“企業(yè)為主體，市場為導(dǎo)向，產(chǎn)學(xué)研用結(jié)合”的對外合作思路，與北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等高校和武漢新芯、上海華力、華潤微電子、北方微電子等企業(yè)結(jié)為戰(zhàn)略合作伙伴，在北京、江蘇、湖北、四川、廣東、湖南等省市開展科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，在我國微電子領(lǐng)域擁有廣泛的影響，為支撐我國微電子產(chǎn)業(yè)核心競爭力發(fā)揮了不可替代的重要作用。